第866章 確實該退休了

　　萬千的目光再一次刷地射向了山上一郎。 　　但他毫不在乎。 　　一個天才的設計方案？就能把Arf193nm的波長變成134nm？ 　　鬧着玩呢這是？ 　　臺上，蘇遠山也在看着山上一郎，他知道這位老兄進尼康就在磨玻璃，對光源系統極爲熟悉——反正蘇遠山在光學領域，在對方面前就是小學生級別。 　　但蘇遠山毫不在乎，也很能理解山上一郎爲什麼會在這種場合失態。 　　別說現在猛地聽到遠芯保密了三四年的技術，就算是歷史上，當林本堅拿着詳細的論證找上門的時候，尼康佳能都沒正眼看人家一眼，並認爲這傢伙純粹就是個瘋子，讓臺積電好好管一管，找點藥給他喫。 　　也就是ASML當時人小勢微，雖然被intel拉着進了EUV聯盟畫了大餅，但在市場上，依舊不敵霓國人，必須彎道超車才能贏得了的樣子……所以最終才選擇了信任林本堅。 　　但蘇遠山也並沒有回答山上一郎。 　　因爲他看到，和山上一郎只隔着一個作爲的李明柳已經看了過去。 　　“immersion。”李明柳身子前傾了一點，把自己暴露在了山上一郎的視線中，並給出了個英文單詞。 　　“什麼？”聽到聲音，山上一郎瞬間轉頭望向李明柳。 　　“immersion，浸潤式光刻。”在遠芯諸多技術大佬中，李明柳向來以嚴肅著稱，常年執掌遠芯第二大研發基地的他如今身上早就多了幾分所謂的“威嚴”，凡事喜歡點到爲止，不想說過多。 　　惜字如金的兩句後，李明柳便恢復了坐姿。 　　臺上，蘇遠山也只是一笑：“消息我是帶到了，信不信那就……好吧，其實我是相信的。” 　　說完後，蘇遠山離開講臺，對臺下微微鞠躬，然後退場。 　　直到這時，就如同一盆冰水上丟了一坨燒紅的鐵塊，整個會場瞬間便沸騰了起來。 　　——和霓國人不一樣，國內半導體行業對蘇遠山有着近似迷信一般的信賴，在先前短暫的懵懂狀態後，此刻立刻陷入了興奮和激動中，會場剎那間便變成了菜市場。 　　李明柳的聲音說得並不大，靠後的與會人員並不能聽清，但不妨礙他們挨個拍着前排的肩膀一路問下來。 　　在一片嘈雜中，山上一郎重新坐了下來。 　　他腦子慢慢恢復了清醒。 　　他理智上無法接受，但理智又告訴他，這……極有可能是真的。 　　因爲蘇遠山，沒有必要在這個時候這個場合來騙人。 　　——因爲一旦被證實是假消息，那麼非但是蘇遠山個人的聲譽，宏芯的聲譽，乃至整個內地半導體行業的聲譽，都將受到毀滅性的倒塌。 　　浸潤式光刻？ 　　難道放水裏？ 　　瘋了吧！ 　　這時，蘇遠山的聲音透過幾個座位慢慢傳來。 　　“通過在鏡頭與襯底之間加入於玻璃折射率接近的水，減小物鏡射出的光折射角，從而提升物鏡的孔徑，提高分辨率。根據CD=K1*λ/NA，用水替代空氣後，就相當於193 nm波長等效縮短到134 nm。” 　　“而且……它不需要重新研製光刻膠。” 　　蘇遠山看着在自己身旁圍成一圈的衆人，嘴角微微一翹。 　　“具體的技術和消息，還請大家關注宏芯的相關發佈會。” 　　…… 　　五個小時後，宏芯以浸潤式光刻技術攻克193nm光源的消息瞬間傳遍了整個半導體行業。 　　相比行業消息的傳播速度，新聞向來要晚一步，但也是在第二天晚上，新聞也正式公佈了世界上最先進的光刻機誕生在國內，併成功通過專家組驗收的消息。 　　一時間，宏芯的大門被數不清的媒體踏破，採訪的同時，這些媒體也紛紛擔起了科普責任，在各個渠道爲民衆普及起了什麼叫光刻機，什麼叫晶圓廠，一顆中央處理器又是怎麼來的…… 　　至於蘇遠山，則拒絕了所有的採訪邀請，並在半導體峯會結束的第二天便啓程前往了硅谷。 　　浸潤式光刻的榮耀就留給該享受榮耀的人好了。 　　…… 　　…… 　　硅谷，山間別墅。 　　卡莉風風火火地走進大門，她絲毫不介意蘇遠山哈欠連天，甚至還穿着拖鞋。便一屁股坐在他的對面，盯着蘇遠山佈滿血絲的眼睛問：“BOSS，是真的嗎？” 　　蘇遠山忍了個哈欠，微笑道：“你就算不相信我們的媒體，你也要相信我啊……馬上我們就能拿出65nm的製程工藝，到時候還能造假不成？” 　　“……”卡莉一陣無語。 　　她當然願意相信蘇遠山，但她問蘇遠山，並不是不相信的問題，而是……她覺得太不可思議。 　　“怎麼辦到的？林本堅的團隊是主要團隊嗎？” 　　“是，但怎麼辦到的……我還真不知道。他們研發了三年，攻克了數百個技術節點，嗯……也花了不少錢。” 　　“量產呢？”卡莉馬上問道了關鍵。 　　“大概明年就能推出量產型號。”蘇遠山知道卡莉想問什麼，他微微一笑道：“卡莉，我不知道你對晶圓廠那一套技術瞭解多少……但我可以告訴你，根據目前的推測，浸潤式光刻技術的極限甚至可以到7nm線寬——如果EUV無法被攻克，那麼在未來很長一段時間內，如何依靠工藝來降低製程，就是晶圓廠的最主要任務。” 　　“可以到7nm？” 　　“嗯，多重曝光就行。” 　　頓了頓，蘇遠山正色道：“卡莉，你一定要有一個清醒的認識，論製程推進，再沒有任何人比德遠更有實力和魄力。” 　　卡莉抿了抿嘴，她倒是很想反駁一下……最後發現什麼都反駁不了。 　　因爲這是事實。 　　她是親自參與了AT&T與華晶的晶圓廠設備出售一案——而那時，德遠還只是工地！ 　　可現在才幾年？德遠便從0.5微米一路追趕到0.35，0.25，0.13……其速度之快，堪稱奇蹟。 　　幾秒的冷場，便讓蘇遠山終於忍不住了，他捂着嘴，打了個哈欠。 　　“卡莉，你看看幫我約一下桑德斯老爺子。” 　　卡莉回過神來，略一思索便點頭，隨後問道：“三顧茅廬，這是你的最後一顧？” 　　“哈哈，是的。對了，最好約到發佈會之後，我這兩天得好好休息一下才行。” 　　“說起來，桑德斯老爺子也確實該退休了。” 　　蘇遠山一邊伸着懶腰，一邊笑道。